Когда использовать клапан с сильфонным уплотнением

Металлический сильфон (обычно сварной из нержавеющей стали 316L) заменяет традиционную сальниковую набивку, инкапсулируя шток клапана для достижения полностью металлического уплотнения и нулевой внешней утечки.

Специальные газы для полупроводниковой промышленности включают:

 AsH₃ (мышьяк), PH₃ (фосфин), B₂H₆ (диборан)

 SiH₄ (силан), GeH₄ (герман)

 Cl₂, HCl, HBr, NF₃

Любая внешняя утечка этих газов может привести к гибели персонала или взрывам. Сильфонное уплотнение является единственным решением, обеспечивающим двойной барьер удержания (первичный: сильфон + вторичный: сальниковая набивка в качестве резерва), гарантируя при этом чистоту проточной части из полностью металлического исполнения.

Срок службы сильфона значительно ниже, чем у мембранного клапана. Типичный срок службы составляет 10 000–50 000 циклов. Для часто используемых применений (например, импульсных клапанов ALD) требуется регулярная замена или усиленные конструкции сильфонов.