Quando usar válvula com vedação de fole

Um fole metálico (geralmente soldado a partir de SS 316L) substitui a gaxeta tradicional, encapsulando a haste da válvula para obter uma vedação totalmente metálica e zero vazamento externo.

Gases especiais para semicondutores incluem:

AsH₃ (Arsina), PH₃ (Fosfina), B₂H₆ (Diborano)

SiH₄ (Silano), GeH₄ (Germano)

Cl₂, HCl, HBr, NF₃

Qualquer vazamento externo desses gases pode causar baixas de pessoal ou explosões. A vedação por fole é a única solução que fornece uma barreira de contenção dupla (Primária: Fole + Secundária: Gaxeta como backup) garantindo a limpeza do caminho de fluxo totalmente metálico.

A vida útil à fadiga de um fole é significativamente menor do que a de uma válvula de diafragma. 10.000 a 50.000 ciclos é a vida útil típica de projeto. Para aplicações com acionamento frequente (por exemplo, válvulas de pulso ALD), são necessárias substituições regulares ou projetos de fole aprimorados.