ベローズシールバルブの使用時期

金属製ベローズ（通常は316L SSを溶接したもの）が従来のパッキン腺に取って代わり、バルブステムを封入することで、オールメタルシールと外部漏れゼロを実現します。

半導体特殊ガスには以下が含まれます:

 AsH₃（アルシン）、PH₃（ホスフィン）、B₂H₆（ジボラン）

 SiH₄（シラン）、GeH₄（ゲルマン）

 Cl₂、HCl、HBr、NF₃

これらのガスの外部への漏洩は、人員の死傷や爆発を引き起こす可能性があります。ベローズシールは、オールメタルフローパスの清浄度を確保しながら、二重封じ込めバリア（一次：ベローズ + 二次：パッキンをバックアップとして）を提供する唯一のソリューションです。

ベローズの疲労寿命はダイヤフラムバルブよりも大幅に短くなります。通常、設計寿命は10,000〜50,000サイクルです。頻繁に作動する用途（例：ALDパルスバルブ）では、定期的な交換または強化されたベローズ設計が必要です。