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Cuándo usar la válvula con SELLO DE FUELLE
Creado 04.09
Principio de funcionamiento:
Un fuelle metálico (típicamente soldado de acero inoxidable 316L) reemplaza la prensaestopas tradicional, encapsulando el vástago de la válvula para lograr un sello totalmente metálico y cero fugas externas.
¿Por qué se deben utilizar válvulas de fuelle en sistemas de gases especiales?
Los gases especiales para semiconductores incluyen:
- Gases tóxicos:
AsH₃ (arsina), PH₃ (fosfina), B₂H₆ (diborano)
- Gases pirofóricos:
SiH₄ (silano), GeH₄ (germano)
- Gases altamente corrosivos:
Cl₂, HCl, HBr, NF₃
Cualquier fuga externa de estos gases puede causar bajas de personal o explosiones. El sello de fuelle es la única solución que proporciona una barrera de doble contención (Primaria: Fuelle + Secundaria: Empaquetadura como respaldo) al tiempo que garantiza la limpieza de la ruta de flujo totalmente metálica.
Nota de por vida:
La vida útil a fatiga de un fuelle es significativamente menor que la de una válvula de diafragma. 10.000-50.000 ciclos es la vida útil de diseño típica. Para aplicaciones de actuación frecuente (por ejemplo, válvulas de pulso ALD), se requiere un reemplazo regular o diseños de fuelle mejorados.
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