متى يتم استخدام صمام مانع للتسرب بالمنفاخ

يحل المنفاخ المعدني (عادة ما يكون ملحومًا من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L) محل حشوة التعبئة التقليدية، ويغلف ساق الصمام لتحقيق ختم معدني بالكامل وتسرب خارجي صفر.

تشمل الغازات المتخصصة لأشباه الموصلات ما يلي:

 AsH₃ (الزرنيخ)، PH₃ (الفوسفين)، B₂H₆ (ثنائي البوران)

 SiH₄ (السيلان)، GeH₄ (الجرمان)

 Cl₂، HCl، HBr، NF₃

يمكن أن يتسبب أي تسرب خارجي لهذه الغازات في وقوع إصابات بشرية أو انفجارات. يعتبر مانع التسرب ذو المنفاخ هو الحل الوحيد الذي يوفر حاجز احتواء مزدوج (أساسي: المنفاخ + ثانوي: حشو كنسخة احتياطية) مع ضمان نظافة مسار التدفق المعدني بالكامل.

العمر الافتراضي لمنفاخ الصمام أقل بكثير من عمر صمام الغشاء. تتراوح دورة الحياة التصميمية النموذجية بين 10,000 و 50,000 دورة. بالنسبة للتطبيقات التي تتطلب تشغيلًا متكررًا (مثل صمامات النبض في ALD)، يلزم استبدال منتظم أو تصميمات محسنة للمنفاخ.